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      微納結構三維形貌測量?jì)x

      更新時(shí)間:2024-06-04

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      微納結構三維形貌測量?jì)x系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長(cháng)作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法,實(shí)現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀(guān)尺寸等各類(lèi)外觀(guān)參數測量結果。
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